微型減速機常用于控制系統(tǒng)中,實現(xiàn)機電信號或能量的檢測、解算、放大、執(zhí)行或轉(zhuǎn)換等功能,或用于傳動機械負載,也可作為設(shè)備的交、直流電源,應(yīng)用廣泛。
下面小編要為大家介紹的是微型減速機的系統(tǒng)簡述,內(nèi)容如下:
微型減速機系統(tǒng)的英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫),指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置,是一個獨立的智能系統(tǒng),主要由傳感順、作動器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成,是可批量制作的,集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。
它的特點是:
微型化:MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時間短。
以硅為主要材料,機械電器性能優(yōu)良:硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當,密度類似鋁,熱傳導率接近鉬和鎢。
批量生產(chǎn):用硅微加工工藝在一片硅片上可同時制造成百上千個微型機電裝置或完整的MEMS。批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本。
集成化:可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體,或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列,甚至把多種功能的器件集成在一起,形成復雜的微系統(tǒng)。微傳感器、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩(wěn)定性很高的MEMS。
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